詳細介紹

產品介紹

 產品特點

1. 腔體采用不銹鋼材料,保證系統材料的穩定性；
2. 采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
3. 支持自動手動模式，方便客戶靈活操作；
4. 智能自動模式：可以設置為2次清洗，2次進氣,每次清洗時間,進氣穩定時間都可以設定；
5. 手動模式：手動模式下，系統可以啟動定時功能，清洗時間到，系統自動停止工作；
6. 氣壓穩定功能（選配）：根據需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內壓力；
7. 智能氣路功能（選配）：根據需要，可以配置質量
8. 流量計系統，可以設置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
9. 等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。

您可能還想要……

常壓等離子

中頻真空等離子

射頻真空等離子清洗機

射頻真空等離子清洗機

旋轉式沉積設備

原子層氣相沉積設備

pecvd 增強型化學氣相沉積

pecvd 增強型化學氣相沉積

電阻蒸發鍍膜儀

磁控濺射鍍膜儀

水老化試驗儀

吸附劑測試系統